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                SSB225/20型投影光刻机空气隔振器使用教程

                来源:上海松夏减震器有限公司????发布时间:2023-08-08 11:39

                在现代科学技术的快速发展下,投影光刻机作为一种重要的微细加工设备,广泛运用于半导体行业、科学研究领域等。为了确保光刻机的高精度加工效果,提高设备的稳定性和可靠性,投影光刻机空气隔振器的使用就显得尤为重要。本文将介绍SSB225/20型投影光刻机空气隔振器的使用方法,帮助用户正确操作和维护设备。
                 
                1.在使用SSB225/20型投影光刻机空气隔振器之前,首先需要检查隔振器的安装是否正确。确保安装位置平整稳固,并且与光刻机底座连接紧密。同时,检查气源管道的连接情况,确保气体能够顺利进入隔振器,维持正常的工作状态。
                 
                2.接下来,我们需要了解如何正确操作SSB225/20型投影光刻机空气隔振器。首先,打开气源开关,保证气体供应正常。然后,通过调节气源压力控制阀,将隔振器内气囊的压力调整到合适的范围。过高或过低的气囊压力都会影响设备的工作效果,因此需根据实际需要进行调节。
                SSB225/20型投影光刻机空气隔振器使用教程
                 
                3.隔振器内的气囊压力调整完毕后,我们需要进行水平度和垂直度的校准。首先,打开光刻机的水平校准功能,并根据设备操作手册的要求进行相关调整。对于垂直度的校准,可以通过控制气源开关和气囊压力控制阀,来实现隔振器的升降调整。在调整过程中,需要注意保持光刻机的稳定,避免产生任何不必要的震动。
                 
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